制作芯片過(guò)程中的作用不同，光刻機(jī)是將設(shè)計(jì)好的電路圖用光學(xué)的方式刻印在硅片上，要求的精度相當(dāng)高，高品質(zhì)、高精度的光刻機(jī)，決定了芯片的產(chǎn)品合格率（效益）。
蝕刻機(jī)是將光刻以后的硅片多余的腐蝕去除。制作難度低于光刻機(jī)。
刻蝕機(jī)和光刻機(jī)的區(qū)別如下：首先工藝不同：刻蝕機(jī)是將硅片。上多余的部分腐蝕掉，光刻機(jī)是將圖形刻到硅片上，其次難度不同：光刻機(jī)的難度和精度大于刻蝕機(jī)。
光刻機(jī)是芯片制造的魂，蝕刻機(jī)是芯片制造的魄，要想制造高端的芯片，這兩個(gè)東西都必須頂尖。
這倆機(jī)器最簡(jiǎn)單的解釋就是光刻機(jī)把電路圖投影到覆蓋有光刻膠的硅片上面，刻蝕機(jī)再把剛才畫(huà)了電路圖的硅片上的多余電路圖腐蝕掉，這樣看起來(lái)似乎沒(méi)什么難的，但是有一個(gè)形象的比喻，每一塊芯片上面的電路結(jié)構(gòu)放大無(wú)數(shù)倍來(lái)看比整個(gè)北京都復(fù)雜，這就是這光刻和蝕刻的難度。
